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原位吸收光谱系统是由探头模组(内置激光器),光谱分析模组,无线通信盒、测试软件等组成,同轴空间光路设计,极大提升收光效率,探头与光谱模块分离式设计,有效降低退火高温台对光谱分析模块的影响;系统集成无线通信功能,无需改造手套箱,即买即用。
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